Рощин В.М.: Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: Часть 2
Скачать книгу (размер 911 Kb , формат fb2, страниц 180) Аннотация: Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.