Галперин В.А.: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: Учебное пособие
Скачать книгу (размер 1 437 Kb , формат fb2, страниц 283)
Жанр : Разное
Издательство : Бином. Лаборатория знаний
Год издания : 2014
Аннотация:
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.