Галперин В.А.: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: Учебное пособие
Скачать книгу (размер 1 437 Kb , формат fb2, страниц 283) Аннотация: В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и…