Берлин Е.В.: Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Скачать книгу (размер 2 686 Kb , формат fb2, страниц 528) Аннотация: Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления…