Акуленок М.В.: Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: Учебное пособие для вузов. Том 2
Скачать книгу (размер 1 279 Kb , формат fb2, страниц 252) Аннотация: Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических…